双融网上海造出三把纳米级摩天大楼的“标准尺”，国产芯片检测更准

　　尺的刻度不准，测出的数值就不准，判断一把尺准不准，需要一把“放之四海而皆准”的“标准尺”来比对。

　　这把“标准尺”有一个专业名称，叫“标准物质”，它是化学、生物等专业领域统一量值、开展量值传递溯源的主要载体，是国家重要的战略资源。

　　上海市市场监管局今天（2月10日）宣布，近日审批通过一批标准物质，其中，同济大学联合张江实验室筹建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）在集成电路标准物质方面取得突破，三项晶圆级标准物质获得国家二级标准物质证书。

　　集成电路制造是将数以亿计的微小元器件集成在芯片上的制造体系，它不仅是信息产业的基础，也是高端装备能力的重要支撑。

　　技术越来越先进，集成电路制造就像“在纳米尺度上盖摩天大楼”。这样的精度要求检测设备不能有丝毫差池，也对用来校验检测设备的标准物质提出了极高的要求。业内人士表示，传统几何量标准物质多基于小尺寸衬底加工，更适用于实验室场景，难以满足集成电路自动化检测需求，因此产业亟需高质量、自主可控的晶圆级标准物质。

　　国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）围绕集成电路制造中的典型结构与缺陷，重点开展了八英寸晶圆级100纳米一维光栅标准物质、八英寸晶圆级200纳米二维栅格标准物质、八英寸晶圆级100纳米凹陷缺陷标准物质的研制与应用研究。

　　此次获证的标准物质可为特征尺寸测量用扫描电子显微镜（CD-SEM）、原子力显微镜（AFM）、缺陷检测设备等集成电路量检测设备提供可靠的量值标准，有效支撑周期测量、角度测量及典型缺陷检测等应用需求。该标准物质可帮助中国量检测设备企业与晶圆制造厂解决“测不准、测不精、测不全”的产业难题，对提升中国集成电路微纳检测设备的计量测试能力、完善产业计量技术体系具有重要支撑意义。

　　标准物质在上海形成了从科研到通过审批落地的闭环，这得益于审批制度的改革创新。

　　2023年，上海在全国率先获得国家二级标准物质定级鉴定审批权，在浦东新区和奉贤区试点，颁出全国首张省级市场监管部门审批的国家二级标准物质定级证书。

　　2025年7月，国家市场监管总局肯定上海改革成果，将二级标准物质改革推广复制至上海全域以及内蒙古、湖南和四川部分地区。新修订的《标准物质管理办法》明确，二级标准物质的审批权事权由国家市场监管总局下放至省级市场监管部门。

　　试点以来，上海颁发国家二级标准物质证书41张，覆盖标准物质56项。这些标准物质的涌现，解决了集成电路、生物制造、生命健康、先进材料等先导、重点产业的痛点，还吸引了产业上下游企业加入标准物质研发产业链，推动标准物质研制生产和产业组织方式的创新。

　　比如，灭活基孔肯雅病毒标准物质是中国首个针对该病毒的二级标准物质，为疫情防控提供重要支撑。赭曲霉毒素纯度标准物质填补了中国相关行业空白，推进了真菌毒素标准物质的国产化进程。紫外、可见光区波长溶液标准物质既可应用于制药、医疗、食品、环保等行业的检测领域，也是中国首个紫外可见全波长检定/校准溶液标准物质。中国仓鼠卵巢细胞基因组DNA标准物质有助于提高产业链中DNA残留量检测的准确度，提升抗体药物、重组蛋白药物、疫苗等生物制品生产公司的产品质量，有利于解决生物制品生物安全问题以及国际贸易中的技术壁垒问题。

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